|
ゲスト さん （ログイン） |
|
|
ゲスト さん （ログイン） |
|
オンライン書店【ホンヤクラブ】はお好きな本屋での受け取りで送料無料！新刊予約・通販も。本（書籍）、雑誌、漫画（コミック）など在庫も充実
本好きのためのオンライン書店
Honya Club.comは日本出版販売株式会社が運営している
インターネット書店です。ご利用ガイドはこちら
 |
 |
価格：1,870円（本体1,700円＋税）
【2019年11月発売】
価格：1,320円（本体1,200円＋税）
【2000年03月発売】
価格：2,640円（本体2,400円＋税）
【2015年10月発売】
のマークが目印です。
HonyaClub会員規約個人情報の取扱いに関する規程
[BOOKデータベースより]
本書は集積回路プロセス技術シリーズの中の一巻として企画され、ドライエッチング技術を、その基礎から最先端まで集大成してまとめたものであり、１９８０年に同シリーズから刊行された「半導体プラズマプロセス技術」を補完するものである。
超ＬＳＩ技術とドライエッチング
ドライエッチングの基礎
最新のドライエッチング技術（シリコン；化合物半導体）
ドライエッチングとレジスト技術
最新のドライエッチング装置
モデリングとシミュレーション
ドライエッチングと計測
ドライエッチングの新技術
ドライエッチング技術の将来展望