半導体ドライエッチング技術

集積回路プロセス技術シリーズ　

産業図書
徳山巍　

• 価格: 6,160円（本体5,600円＋税）
• 発行年月: 1992年10月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784782856284

内容情報

[BOOKデータベースより]

本書は集積回路プロセス技術シリーズの中の一巻として企画され、ドライエッチング技術を、その基礎から最先端まで集大成してまとめたものであり、１９８０年に同シリーズから刊行された「半導体プラズマプロセス技術」を補完するものである。

超ＬＳＩ技術とドライエッチング
ドライエッチングの基礎
最新のドライエッチング技術（シリコン；化合物半導体）
ドライエッチングとレジスト技術
最新のドライエッチング装置
モデリングとシミュレーション
ドライエッチングと計測
ドライエッチングの新技術
ドライエッチング技術の将来展望