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[BOOKデータベースより]
本書は、ダイヤモンド膜、ｃＢＮ膜を中心としてはいるが、他の硬質膜についてもできるだけ触れ、硬質膜について全般的な知識が得られるように構成した。評価と応用をできるだけ含めるようにしてある。
第１章 硬質膜材料と製法
第２章 硬質膜の評価方法
第３章 ダイヤモンドの加工法
第４章 硬質膜の応用