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- イオンビームによる薄膜設計
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- 価格
- 1,452円(本体1,320円+税)
- 発行年月
- 1991年09月
- 判型
- B6
- ISBN
- 9784320085152
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[BOOKデータベースより]
第1章 薄膜の形成
第2章 イオンビームの作用
第3章 種々のイオンの照射効果を用いた薄膜形成法
第4章 プラズマ中での薄膜形成法
第5章 真空中での薄膜形成法