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価格：3,960円（本体3,600円＋税）
【2025年10月発売】
価格：990円（本体900円＋税）
【2019年10月発売】
価格：924円（本体840円＋税）
【2024年08月発売】
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[BOOKデータベースより]
本書はＵＬＳＩプロセスに関連するあらゆる技術を幅広く網羅し、それぞれの分野の第一人者が各章の執筆を担当している。２１世紀に向けてシリコン加工技術がどのように発展し、ＵＬＳＩはどこまで進むのか、今後解決されるべき問題は何か、そのすべてを展望する。
１章 ＵＬＳＩ基礎技術の展望
２章 光リソグラフィー
３章 Ｘ線リソグラフィー
４章 ドライエッチング
５章 薄膜形成技術
６章 集束イオンビーム技術
７章 ＳＯＩ技術
８章 ＵＬＳＩプロセシングにおける欠陥制御