図説超ＬＳＩ工学

Ｔｈｅ　ａｔｌａｓ　ｏｆ　ＩＣ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ：ａｎ　ｉｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎ　ｔｏ　ＶＬＳＩ　ｐｒｏｃｅｓｓｅｓ．

啓学出版
Ｗ．マリ　小田俊理　

• 価格: 3,204円（本体2,913円＋税）
• 発行年月: 1990年12月
• 判型: Ｂ５
• ISBN: 9784766510836

内容情報

[BOOKデータベースより]

専門家向けの参考書、ＶＬＳＩ関連の講義用教材として著した本書は、ユニークなＩＣの断面イラストで満たされ、読者をＩＣの３次元世界の旅に誘うだろう。ＩＣ製造過程を１層ごとにイラストで表わしているので、システム志向の技術者もプロセス関連の基本的な事柄が理解できるようになる。ＩＣのレイアウト、チップ製作初期段階、および後半の断面イラストとを見比べれば、読者はただちにＩＣ製作プロセスの概略をつかむことができる。

第１章　プロセス各論
第２章　プロセスと設計の関係
第３章　バイポーラ技術
第４章　ＮＭＯＳ技術
第５章　ＣＭＯＳ技術
第６章　先端バイポーラ技術
第７章　先端ＮＭＯＳ技術
第８章　先端ＣＭＯＳ技術
第９章　バイＣＭＯＳ技術
第１０章　ＳＲＡＭ技術
第１１章　ＳＯＩ技術