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応用物理工学選書 3
培風館 吉田貞史
1章 薄膜の作製2章 薄膜の膜厚と構造、組成3章 薄膜の機械的・熱的性質4章 薄膜の電気的・磁気的性質5章 薄膜の光学的性質6章 半導体薄膜
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[BOOKデータベースより]
1章 薄膜の作製
2章 薄膜の膜厚と構造、組成
3章 薄膜の機械的・熱的性質
4章 薄膜の電気的・磁気的性質
5章 薄膜の光学的性質
6章 半導体薄膜