真空技術ハンドブック

日刊工業新聞社
金持徹　

• 価格: 16,019円（本体14,563円＋税）
• 発行年月: 1990年03月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784526026775

内容情報

[BOOKデータベースより]

第１章　真空の科学（真空の特徴；気体の考え方；気体分子運動論；気体分子運動論から導かれる諸関係）
第２章　真空システム（コンダクタンス；実効排気速度と到達圧力；排気系設計のポイント；超高真空システムの極高真空システム；真空部品；真空材料；極高真空装置用の材料とガス放出）
第３章　真空ポンプ（真空ポンプの現状と開発動向；油回転ポンプ；ルーツポンプ；ドライ真空ポンプ；油拡散ポンプ；ターボ分子ポンプ；クライオポンプ；スパッタイオンポンプ；チタンサブリメーションポンプ）
第４章　真空計測（全圧計・分圧計の種類と利用法；熱伝導真空計；電離真空計；スピニングローター真空計；隔膜真空計；全圧計の校正；極高真空全圧計とその校正；四極子マスフィルタ）
第５章　真空装置の管理（真空装置のトラブルとその対策；各種の真空装置における洩れ探し；ヘリウムリークデテクタとその使用技術；真空装置の汚染に関するトラブル）
第６章　真空を利用した薄膜製造装置（真空蒸着法；分子線エピタキシー；スパッタ法；イオンプレーティングとその応用技術；イオンビームによる薄膜形成；ドライエッチング技術；ＣＶＤ法）
第７章　真空を利用した薄膜製造技術（薄膜製造における真空技術；酸化物超伝導体と薄膜化技術；薄膜センサ；セラミックス膜；ダイヤモンド薄膜）
第８章　真空利用装置と利用技術（電子顕微鏡における真空技術；表面分析技術における真空技術；真空断熱技術；スペースチャンバ；大型加速器における真空技術；最近の真空利用）
第９章　規格等