微細加工とレジスト

高分子新素材　ｏｎｅ　ｐｏｉｎｔ　３

共立出版
野々垣三郎　

• 価格: 1,100円（本体1,000円＋税）
• 発行年月: 1987年11月
• 判型: Ｂ６
• ISBN: 9784320042278

内容情報

[BOOKデータベースより]

１．　レジストを使う微細加工（写真製版技術；半導体用レジストに要求される特性）
２．　フォトレジスト
３．　電子線レジスト（電子線を使う微細加工；電子線を使う微細加工の解像限界）
４．　Ｘ線レジスト（Ｘ線を使う微細加工；Ｘ線を使う微細加工の解像限界）
５．　将来展望（フォトレジストの将来；電子線レジストの将来；Ｘ線レジストの将来）

[日販商品データベースより]

半導体デバイスを制作する際の微細な加工に、どのようなレジスト（耐食性被膜材料）が使われ、また、新しく開発されているか、現状と将来を展望。