シリコンの物性と評価法

電子材料シリーズ　

丸善出版
小間篤　

• 価格: 4,730円（本体4,300円＋税）
• 発行年月: 1987年07月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784621031858

内容情報

[BOOKデータベースより]

２０世紀を象徴する物質、それは粉れもなくシリコンだと言うことができよう。本書は、この恵まれた資質を持つ魅力的な物質シリコンに興味を抱き、それを理解し、使いこなそうという人達のために書かれたものである。実際に、材料について悩み、発展に努力している方々によって書かれているので読者は、問題解決のための指針を得ると同時に、単に解説には終らない、材料に対する著者らの熱い思いも感じとれるであろう。

１　物性（シリコン結晶と格子欠陥；シリコンの電子物性；表面と界面）
２　評価法（結晶の完全性の評価；微量不純物の分析；電気特性の評価；表面・界面の評価）