これからのＭＥＭＳ

ＬＳＩとの融合

森北出版
江刺正喜　小野崇人　

• 価格: 2,860円（本体2,600円＋税）
• 発行年月: 2016年06月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784627775510

内容情報

[BOOKデータベースより]

ＭＥＭＳはシーズからニーズの時代へ。これまで不可能とされた「ヘテロ集積化技術」を中心に、ＭＥＭＳの今後の開発促進や有効利用をＭＥＭＳ研究の世界的権威が解説する待望の一冊。「はじめてのＭＥＭＳ」続編。

第１章　ヘテロ集積化（ＭＥＭＳとＬＳＩの融合）
第２章　次世代携帯機器
第３章　センサネットワーク・高機能センサ
第４章　光マイクロシステム
第５章　バイオ・医療用マイクロシステム
第６章　製造・検査装置
第７章　高度化と有効活用への道

[日販商品データベースより]

MEMSはシーズからニーズの時代へ．

MEMS研究の世界的権威である著者が初めて解説し，大きな反響を呼んだ『はじめてのMEMS』に続く待望の続編です．

情報処理を担う集積回路にMEMSを組み合わせるヘテロ集積化技術で，これまで以上に高機能なデバイスやセンサが可能になり，「次世代携帯機器」「センサネットワーク」「光マイクロシステム」「バイオ・医療」「製造・検査」などをはじめとするMEMSの幅広い応用が期待されています．

本書では，そうした応用やニーズ面，開発の実際などをおもに取り上げ，具体的に解説しています．

これからMEMS技術を取り入れたいと考える技術者・研究者が，MEMSの概要や現状を学ぶのに最適な1冊です．