半導体の化学

先端材料のための新化学　９

朝倉書店
逢坂哲弥　

• 価格: 4,180円（本体3,800円＋税）
• 発行年月: 1996年12月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784254255690

内容情報

[BOOKデータベースより]

本書は、半導体材料および関連材料を基礎からプロセスまで、さらには最近注目されているトピックス的な内容をも含めてまとめあげたものである。

１　半導体の基礎（結晶；半導体とは；半導体のなかの電子と正孔　ほか）
２　半導体デバイスとその特性（ダイオード；バイポーラトランジスタ；電界効果トランジスタ　ほか）
３　半導体集積回路プロセス技術（ＳｉＬＳＩのできるまで（ＣＭＯＳＬＳＩの製作工程）；各種個別技術；フォトレジストとリソグラフィ　ほか）
４　半導体材料における最近の話題（高精度エッチング用プラズマ技術の進展；高密度回路実装技術（ＭＣＭを中心として）；強誘電体薄膜材料と半導体メモリへの応用　ほか）