走査電子顕微鏡 第２版

表面分析技術選書　

丸善出版
日本表面真空学会　

• 価格: 4,180円（本体3,800円＋税）
• 発行年月: 2025年12月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784621312278

内容情報

[BOOKデータベースより]

電子線で試料表面を走査する走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）は、試料表面形状だけではなく、試料の元素組成や結晶方位、三次元形状など、さまざまな情報を得る手法として発展を遂げ、多くの研究・産業分野で広く用いられている。本書は、このようにＳＥＭの応用が広がっている状況を踏まえ初版を大幅に改訂。ＳＥＭの基礎的・理論的な説明から、分野に応じた試料の準備・前処理法や観察手法を実際の観察事例とともに解説した。さらに、データサイエンス・機械学習の応用や三次元像の構築、自動化なども、最新の実例とともに紹介している。ＳＥＭの初心者から、応用を検討している実務者・研究者まで必携の一冊。

１　走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）とは何か
２　ＳＥＭの像形成の基礎
３　ＳＥＭの装置
４　ＳＥＭ観察の実際
５　ＳＥＭの応用・発展
６　発展的手法

[日販商品データベースより]

電子線で試料表面を走査する走査電子顕微鏡（SEM）は，試料表面形状だけではなく，試料の元素組成や結晶方位，三次元形状など，さまざまな情報を得る手法として発展を遂げ，多くの研究・産業分野で広く用いられている．
本書は，このようにSEMの応用が広がっている状況を踏まえ初版を大幅に改訂．SEMの基礎的・理論的な説明から，分野に応じた試料の準備・前処理法や観察手法を実際の観察事例とともに解説した．さらに，データサイエンス・機械学習の応用や三次元像の構築，自動化なども，最新の実例とともに紹介している．
SEM の初心者から，応用を検討している実務者・研究者まで必携の一冊．