図解即戦力 半導体プロセスのしくみとビジネスがこれ１冊でしっかりわかる教科書

技術評論社
先端テクノロジー業界研究同好会　

• 価格: 2,200円（本体2,000円＋税）
• 発行年月: 2025年01月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784297146009

内容情報

[BOOKデータベースより]

半導体の基本原理から素材開発や微細加工技術まで。半導体製造工程全体を網羅し、各工程の基礎的技術もしっかり解説！高集積・微細化の流れもまるごと理解！必須の知識が全部わかる！

１　半導体とその素材
２　半導体製造プロセスの概観
３　リソグラフィ
４　エッチング
５　洗浄・乾燥
６　イオン注入・熱処理
７　成膜
８　ＣＭＰ
９　パッケージング
１０　検査・測定・試験
１１　半導体工場
１２　製造技術・装置の最新動向

[日販商品データベースより]

基本的な半導体製造プロセスの全体像から、リソグラフィ、エッチング、洗浄・乾燥、イオン注入・熱処理、成膜、パッケージング、検査・測定・試験などの各プロセスを詳細に解説。半導体製造プロセスに興味のある読者だけでなく、技術者にとっても有益な基本情報をまとめた1冊となっています。