プラズマプロセス技術

ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー

森北出版
プラズマ核融合学会　

• 価格: 6,160円（本体5,600円＋税）
• 発行年月: 2017年01月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784627775619

内容情報

[BOOKデータベースより]

最先端のプラズマ応用技術を解説！基礎理論から各種の応用事例、計測・評価技術まで。

第１章　プラズマ技術の基礎
第２章　プラズマナノプロセスの物理的基礎
第３章　プラズマ気相反応とナノ表面反応の基礎
第４章　ナノエッチング技術
第５章　ナノ材料の基板成長と構造制御
第６章　ナノ粒子の気相合成
第７章　計測技術とプロセス解析

[日販商品データベースより]

半導体製造・バイオ・医療といった様々な分野で用いられるプラズマプロセス技術について、基礎から応用まで解説。ナノ・アトムテクノロジーへの広がりを背景に、最先端のプラズマ利用における技術的指針を与える。