現場のスパッタリング薄膜Ｑ＆Ａ 第２版

反応性高速スパッタの実務アドバイス

日刊工業新聞社
小島啓安　

• 価格: 3,630円（本体3,300円＋税）
• 発行年月: 2015年02月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784526073663

内容情報

[BOOKデータベースより]

反応性高速スパッタの実務アドバイス。

第１部　基礎編（はじめに；スパッタリングの基礎知識；いろいろなスパッタ法；反応性高速スパッタ法）
第２部　実践編（ターゲットとカソード；アーキング対策とアノード；コンポーネント；膜質）
第３部　応用編（装置；測定；応用；未来へ）

[日販商品データベースより]

スパッタリングプロセスの第一人者がＱ＆Ａ方式で現場の疑問をわかりやすく解説する実務書の第２版。