半導体ＬＳＩ技術

未来へつなぐデジタルシリーズ　７

共立出版
牧野博之　益子洋治　山本秀和　

• 価格: 3,080円（本体2,800円＋税）
• 発行年月: 2012年03月
• 判型: Ｂ５
• ISBN: 9784320123076

内容情報

[BOOKデータベースより]

ＬＳＩとはなにか
半導体の物性
半導体デバイス
ＣＭＯＳデジタル回路
ＣＭＯＳ論理設計
ＬＳＩ設計フロー
レイアウト設計
ＬＳＩの性能
ＬＳＩの製造
シリコンウェーハ製造技術
微細パターン形成技術
トランジスタ形成技術
敗戦形成技術
パッケージング技術
計測・検査・評価技術とクリーン化技術

[日販商品データベースより]

半導体技術の発展により、現在のＩＣＴ社会において、ＬＳＩは必要不可欠の存在。本書では、ＬＳＩの歴史から半導体デバイス、ＬＳＩ製造プロセスなどについて、基本的な考えから最近技術までを解説する。