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価格：1,572円（本体1,429円＋税）
【2006年08月発売】
価格：3,300円（本体3,000円＋税）
【2002年01月発売】
価格：1,980円（本体1,800円＋税）
【2001年07月発売】
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[BOOKデータベースより]
リソグラフィ技術の概要
光化学反応の基礎
光酸発生剤
従来型フォトレジスト―ｇ，ｉ線ノボラック系レジストを中心にして
ＫｒＦレジスト
ＡｒＦレジスト
ＡｒＦ液浸用レジスト
ダブルパターニング用材料
ＥＵＶレジスト
電子線レジスト
分子レジスト
反射防止材料
ＵＶナノインプリント用材料
ブロック共重合体リソグラフィ