ＬＳＩテスティングハンドブック

オーム社
ＬＳＩテスティング学会　

• 価格: 12,100円（本体11,000円＋税）
• 発行年月: 2008年11月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784274206320

内容情報

[BOOKデータベースより]

理論と技術、装置全般の原理や法廷方法など「ＬＳＩのテスト」を体系化。

１編　ＬＳＩ製造工程と検査・解析（設計工程：テスト設計；マスク製造工程　ほか）
２編　歩留り解析（歩留り解析；マスク解析　ほか）
３編　故障解析（故障現象概論；故障解析の流れ　ほか）
４編　ツールの原理（光；Ｘ線　ほか）

[日販商品データベースより]

ＬＳＩテスティングに関する技術全般を整理して体系化した、この分野で初めてのハンドブック。ＬＳＩテストに関連する基本技術を含めて、すべての項目において具体的な事例やデータなど包括的に情報を提供。