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価格：2,530円（本体2,300円＋税）
【2010年07月発売】
価格：1,650円（本体1,500円＋税）
【2003年08月発売】
価格：1,980円（本体1,800円＋税）
【2009年08月発売】
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[BOOKデータベースより]
理論と技術、装置全般の原理や法廷方法など「ＬＳＩのテスト」を体系化。
１編 ＬＳＩ製造工程と検査・解析（設計工程：テスト設計；マスク製造工程 ほか）
[日販商品データベースより]２編 歩留り解析（歩留り解析；マスク解析 ほか）
３編 故障解析（故障現象概論；故障解析の流れ ほか）
４編 ツールの原理（光；Ｘ線 ほか）
ＬＳＩテスティングに関する技術全般を整理して体系化した、この分野で初めてのハンドブック。ＬＳＩテストに関連する基本技術を含めて、すべての項目において具体的な事例やデータなど包括的に情報を提供。