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構造,特性,製造プロセスから次世代TFTまで
工業調査会 鵜飼育弘
TFT‐LCDとして一大産業を築き上げた薄膜トランジスタ(TFT)は、ガラス基板上への回路機能集積、シリコン系デバイス以外への開発活発化など、新たな時代に突入しようとしてる。本書は、a‐Si TFT開発の黎明期からR&Dおよび事業化に携わった技術者が、TFTの全貌から学会を賑わせている最先端情報までを余すところなく解説。
1 薄膜トランジスタ(TFT)とは2 薄膜トランジスタの開発経緯3 薄膜トランジスタのデバイス構造と特性4 薄膜トランジスタの製造技術5 薄膜トランジスタの応用技術6 薄膜トランジスタの将来展望
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[BOOKデータベースより]
TFT‐LCDとして一大産業を築き上げた薄膜トランジスタ(TFT)は、ガラス基板上への回路機能集積、シリコン系デバイス以外への開発活発化など、新たな時代に突入しようとしてる。本書は、a‐Si TFT開発の黎明期からR&Dおよび事業化に携わった技術者が、TFTの全貌から学会を賑わせている最先端情報までを余すところなく解説。
1 薄膜トランジスタ(TFT)とは
2 薄膜トランジスタの開発経緯
3 薄膜トランジスタのデバイス構造と特性
4 薄膜トランジスタの製造技術
5 薄膜トランジスタの応用技術
6 薄膜トランジスタの将来展望