プラズマ・イオンビームとナノテクノロジー

ＣＭＣテクニカルライブラリー　２５２

シーエムシー出版
上條榮治　

• 価格: 4,840円（本体4,400円＋税）
• 発行年月: 2007年03月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784882319153

内容情報

[BOOKデータベースより]

総論　プラズマ・イオンビーム技術の新展開
基礎編（プラズマの物理化学；イオンビームの物理化学；プラズマ装置；イオンビーム装置）
機能材料応用編（イオン注入による表面機能材料；薄膜誘電体材料；ダイヤモンドおよび関連材料；フラーレン；光機能材料；薄膜積層多層材料）