センサ・マイクロマシン工学

ＥＥ　ｔｅｘｔ　

オーム社
藤田博之　

• 価格: 3,520円（本体3,200円＋税）
• 発行年月: 2005年10月
• 判型: Ｂ５
• ISBN: 9784274201349

内容情報

[BOOKデータベースより]

１章　本書の構成と使い方
２章　センサ・マイクロマシンの概要
３章　微細構造製作プロセス技術
４章　物理センサ
５章　マイクロアクチュエータとマイクロマシン
６章　化学センサとマイクロ化学システム

[日販商品データベースより]

センサとマイクロマシンの原理、微細加工から応用まで含めたマイクロマシンの技術、さらに化学・バイオを含む各種分野のセンサについて解説した教科書。近年のセンサ・マイクロマシン分野の研究・開発の進展に対応。