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価格：3,960円（本体3,600円＋税）
【2006年10月発売】
価格：1,980円（本体1,800円＋税）
【2010年06月発売】
価格：1,760円（本体1,600円＋税）
【2003年08月発売】
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[BOOKデータベースより]
第１章 薄膜の研究構造―全体を視る眼を養おう
第２章 プラズマプロセスの特異性―診断の木の実
第３章 薄膜の形成過程と構造―ガスも積もれば硬くなる
第４章 内部応力―ストレスのご利益
第５章 薄膜材料の硬さ―硬さの底にあるもの
第６章 密着力―引っ掻くことでわかるもの
第７章 性能劣化―寿命は速度過程である
第８章 複合表面改質―より硬くよりしなやかに
第９章 工業的応用―プラズマのご利益