プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用

日刊工業新聞社
市村博司　池永勝　

• 価格: 3,520円（本体3,200円＋税）
• 発行年月: 2005年02月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784526054204

内容情報

[BOOKデータベースより]

第１章　薄膜の研究構造―全体を視る眼を養おう
第２章　プラズマプロセスの特異性―診断の木の実
第３章　薄膜の形成過程と構造―ガスも積もれば硬くなる
第４章　内部応力―ストレスのご利益
第５章　薄膜材料の硬さ―硬さの底にあるもの
第６章　密着力―引っ掻くことでわかるもの
第７章　性能劣化―寿命は速度過程である
第８章　複合表面改質―より硬くよりしなやかに
第９章　工業的応用―プラズマのご利益