- はじめての半導体ナノプロセス
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- 価格
- 2,420円（本体2,200円＋税）
- 発行年月
- 2004年02月
- 判型
- Ａ５
- ISBN
- 9784769312253
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[BOOKデータベースより]
ナノテクノロジー時代到来が叫ばれている今日、半導体プロセスの微細化は際限なく続いている。将来的には５０ｎｍ以下がターゲットになっており、半導体プロセスも「ナノプロセス時代」に入る。本書はナノテクノロジー時代の半導体プロセス技術について、これまでの技術の流れからどのような変革が行われようとしているかを具体的に解説している。この他にも半導体デバイス、実装技術、製造技術、関連材料、測定・評価技術などの重要テーマの動向についてもふれている。半導体ナノプロセスを取り巻く全体像がつかめて興味深い。
第１章 ナノテクノロジー時代の到来
第２章 半導体技術におけるナノテクノロジー
第３章 ナノテクノロジー時代の半導体デバイス
第４章 半導体ナノプロセスの概要
第５章 基本ナノプロセス
第６章 複合ナノプロセス
第７章 半導体ナノプロセスのこれから