はじめての半導体リソグラフィ技術

ビギナーズブックス　２９

工業調査会
岡崎信次　鈴木章義　上野巧　

• 価格: 2,640円（本体2,400円＋税）
• 発行年月: 2003年06月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784769312246

内容情報

[BOOKデータベースより]

半導体集積回路の発展を支えてきたのは、微細なパターンを造り出す半導体リソグラフィ技術である。本書はこの変遷の激しいリソグラフィ技術の全貌を解説したもの。具体的には、光、電子線、Ｘ線・ＥＵＶなど様々なリソグラフィ技術の原理、特徴などを述べるとともに、パターン形成に重要なマスク技術、レジスト技術、計測評価技術についてふれ、さらに今後の課題と展望についても詳細に解説している。

第１章　半導体集積回路の発展とリソグラフィ技術
第２章　光リソグラフィ技術
第３章　電子線リソグラフィ技術
第４章　Ｘ線・ＥＵＶリソグラフィ技術
第５章　その他のリソグラフィ技術
第６章　マスク技術
第７章　レジスト技術
第８章　評価計測技術
第９章　リソグラフィ技術の今後の課題と展望