はじめての半導体洗浄技術

ビギナーズブックス　２３

工業調査会
小川洋輝　堀池靖浩　

• 価格: 2,530円（本体2,300円＋税）
• 発行年月: 2002年03月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784769312123

内容情報

[BOOKデータベースより]

超ＬＳＩはクリーンネスとの闘いである。どんなにすぐれた設計・プロセス技術を用いても、プロセス、環境面でのクリーン化技術に問題点があるようでは期待通りの超ＬＳＩは生まれない。その技術の一つに洗浄技術がある。本書では半導体洗浄技術の全貌について、技術の位置づけ、歴史、基礎的事項、具体的手法、評価法、今後の展望までを詳細に解説している。

第１章　シリコン集積回路と洗浄技術の概略史
第２章　ウェハ上の汚染物および表面状態がデバイスへ及ぼす影響
第３章　従来の洗浄技術―ＲＣＡ洗浄法を中心に
第４章　ウェハ表面への汚染物の付着およびその洗浄機構
第５章　新しい洗浄法―脱ＲＣＡ洗浄を目指して
第６章　ウェット洗浄装置
第７章　ドライ洗浄法
第８章　ウェハ表面の汚染物の評価方法
第９章　洗浄技術の課題と今後の展望