すぐ使える洗浄技術

装置・洗浄剤の機能と特徴

工業調査会
工業調査会　

• 価格: 3,740円（本体3,400円＋税）
• 発行年月: 2001年08月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784769341499

内容情報

[BOOKデータベースより]

本書は、洗浄技術のうち、特に洗浄装置と洗浄剤を中心に解説している。洗浄装置の抱える技術課題や解決方法、装置選定のポイントのほか、代表的な洗浄装置、代替洗浄剤について、その詳細をそれぞれ専門技術者に解説して頂いた。さらに、製造現場ではどのように代替洗浄が行なわれているか、半導体製造工程、液晶製造工程における事例を紹介した。

第１章　洗浄技術の現状（洗浄技術の課題と展望；洗浄装置選定のポイント　ほか）
第２章　エレクトロニクス産業の洗浄技術（半導体洗浄技術の現状；半導体ウェハ洗浄技術の動向　ほか）
第３章　洗浄装置の機能と特徴（真空洗浄装置；水系洗浄装置　ほか）
第４章　洗浄剤の特徴と選定（環境に優しい洗浄剤；水系洗浄剤　ほか）
第５章　資料（洗浄度の指標分類；脱脂洗浄法と洗浄剤との適合性　ほか）