荷電粒子ビーム工学

コロナ社
石川順三　

• 価格: 4,400円（本体4,000円＋税）
• 発行年月: 2001年05月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784339007343

内容情報

[BOOKデータベースより]

本書では、電子だけでなくイオンも含めた荷電粒子の発生、ビーム輸送・操作に加えて、それらを用いた材料プロセスも重要なテーマであると位置づけ、荷電粒子ビームと固体との相互作用の入門的な記述も加え、また、電子およびイオンビーム技術に関し、その基本となる基礎現象の理解ができるだけ得られるように、現象の物理的意味をわかりやすく解説している。

１　荷電粒子ビームの特質と利用形態
２　電子とイオン
３　電子の発生とビーム形成
４　イオンの発生とビーム形成
５　ビーム輸送と操作
６　ビームと固体原子の相互作用
７　高周波エネルギー変換デバイス
８　荷電粒子ビーム装置

[日販商品データベースより]

荷電粒子の発生、ビーム輸送・操作に加え荷電粒子ビームと固体表面相互作用の基礎現象と、その現象が理解できる物理的意味を詳述した。