- VLSIとCVD
-
半導体デバイスへのCVD技術の応用
- 価格
- 7,260円(本体6,600円+税)
- 発行年月
- 1997年07月
- 判型
- A5
- ISBN
- 9784837506454
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[BOOKデータベースより]
1章 CVDとシリコンデバイス
2章 CVD技術概論
3章 CVDによる膜形成法
4章 CVD膜形成用原料化合物
5章 CVD膜形成反応の制御
6章 CVD膜形成各論
7章 CVD膜の評価技術
8章 CVD膜の応用
9章 CVD装置
10章 CVD技術の将来展望