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価格：5,126円（本体4,660円＋税）
【1991年07月発売】
価格：2,200円（本体2,000円＋税）
【1996年01月発売】
価格：1,650円（本体1,500円＋税）
【2002年05月発売】
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[BOOKデータベースより]
各種技術を幅広く網羅！今後の応用・将来動向までを考察する。
光リソグラフィ技術
電子線リソグラフィ技術
イオンビームリソグラフィ技術
Ｘ線リソグラフィ技術
レジスト材料
エッチング技術
形状シミュレーション技術
超微細加工技術の応用