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価格：5,170円（本体4,700円＋税）
【2003年02月発売】
価格：1,540円（本体1,400円＋税）
【2007年11月発売】
価格：3,850円（本体3,500円＋税）
【1995年12月発売】
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[BOOKデータベースより]
本書は、大学の学部学生と大学院の院生の手頃な教科書または参考書として適切な書物であると同時に、国公立の研究・技術機関の研究者と技術者、企業で開発を担当する研究者と技術者に必要な入門書または参考書として適切な書物である。
第１章 半導体表面と界面の物性
第２章 半導体と界面デバイス
第３章 半導体デバイス界面の微細加工と変質・改質
第４章 デバイスの故障診断と改善