薄膜作成の基礎 第３版

日刊工業新聞社
麻蒔立男　

• 価格: 4,180円（本体3,800円＋税）
• 発行年月: 1996年03月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784526038310

内容情報

[BOOKデータベースより]

今日、薄膜を作るには真空を用いることが常識となっている。本書ではまず薄膜を作るために必要な真空技術を前半で理解し、後半で薄膜を作るための技術―薄膜作成技術ともいうべき多数の技術について述べる。

第１章　薄膜技術
第２章　真空の基礎
第３章　真空ポンプと真空計測
第４章　真空装置の実際
第５章　薄膜の基礎
第６章　薄膜作成法
第７章　蒸着法
第８章　スパッタ
第９章　熱酸化窒化と気相成長ＣＶＤ
第１０章　エッチング
第１１章　平坦化技術