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日刊工業新聞社 麻蒔立男
今日、薄膜を作るには真空を用いることが常識となっている。本書ではまず薄膜を作るために必要な真空技術を前半で理解し、後半で薄膜を作るための技術―薄膜作成技術ともいうべき多数の技術について述べる。
第1章 薄膜技術第2章 真空の基礎第3章 真空ポンプと真空計測第4章 真空装置の実際第5章 薄膜の基礎第6章 薄膜作成法第7章 蒸着法第8章 スパッタ第9章 熱酸化窒化と気相成長CVD第10章 エッチング第11章 平坦化技術
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1位
又吉直樹
価格:1,320円(本体1,200円+税)
【2015年03月発売】
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[BOOKデータベースより]
今日、薄膜を作るには真空を用いることが常識となっている。本書ではまず薄膜を作るために必要な真空技術を前半で理解し、後半で薄膜を作るための技術―薄膜作成技術ともいうべき多数の技術について述べる。
第1章 薄膜技術
第2章 真空の基礎
第3章 真空ポンプと真空計測
第4章 真空装置の実際
第5章 薄膜の基礎
第6章 薄膜作成法
第7章 蒸着法
第8章 スパッタ
第9章 熱酸化窒化と気相成長CVD
第10章 エッチング
第11章 平坦化技術