なるほど超ＬＳＩミクロプロセス入門

オーム社
佐藤洋一　

• 価格: 2,670円（本体2,427円＋税）
• 発行年月: 1994年05月
• 判型: Ｂ５
• ISBN: 9784274940514

内容情報

[BOOKデータベースより]

次世代の超ＬＳＩプロセスを絵ときで解剖した半導体製造技術入門書。半導体関連システム、デバイスに携わる学生、初級〜中級技術者、コンピュータ関連実務技術者の必読書。

第１章　科学と技術の歩み（ルネッサンスの科学と技術；エレクトロニクスの芽生え；真空の場から固体の場へ）
第２章　ミクロプロセス入門（シリコン時代の幕開け；それぞれのプロセス―フォトリソグラフィ；それぞれのプロセス―ｐｎ接合；それぞれのプロセス―薄膜成長；それぞれのプロセス―内部配線；それぞれのプロセス―ウラわざプロセス；分析と評価；微細加工の新しい展開；ミクロにまつわる数のはなし）