- バルク結晶成長技術
-
- 価格
- 6,820円（本体6,200円＋税）
- 発行年月
- 1994年05月
- 判型
- Ａ５
- ISBN
- 9784563036041
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[BOOKデータベースより]
第１編 シリコン結晶成長技術（シリコン結晶成長技術の進展；ＣＺ法シリコン結晶中の欠陥核形成；酸素濃度制御と磁界技術；連続充填引上げ法；二層引上げ法；融液対流とシミュレーション技術）
第２編 化合物半導体結晶成長技術（液体封止引上げ法；水平ブリッジマン法；垂直ブリッジマン法；２‐６族結晶成長法）
第３編 酸化物結晶成長技術（引上げ法；融液成長法；溶液成長法；対流、熱流シミュレーション）