- シリコン産業と技術マップ
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- 価格
- 982円（本体893円＋税）
- 発行年月
- 1993年07月
- 判型
- Ｂ４０
- ISBN
- 9784930916853
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[BOOKデータベースより]
金属シリコンの製造、ウエハ加工など川上のシリコン技術について、その全体像を歴史的、かつ具体的なデータで考察し、著者独自の見解をまじえながらわかりやすく解説。
１ シリコン産業とその技術マップ
２ シリコン技術の展望
３ 高純度シリコン産業
４ ウエハ製造技術
５ エピタキシャル技術をめぐって
半導体の基礎用語