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半導体研究 37

化合物半導体の結晶成長と評価 その7

工業調査会
半導体研究振興会  西沢潤一

価格
21,359円(本体19,417円+税)
発行年月
1992年08月
判型
B5
ISBN
9784769310983

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内容情報
[BOOKデータベースより]

本書では、化合物半導体デバイスとそれに関係する結晶、表面の技術と科学が取り扱われている。

1 ボート成長法によるGaAs結晶の結晶欠陥
2 有機V族原料を用いたカーボンドープGaAs結晶成長
3 MBE‐GaAs成長過程のSREM,SEM,STMによるその場観察
4 化合物半導体におけるμ‐RHEED実時間観測
5 高速時間分解フォトルミネッセンス法による共鳴トンネル現象の観測
6 GaNのMOVPE成長と発光素子
7 逆構造HEMT―ディジタルおよびアナログデバイスへの応用
8 HEMT LSI技術
9 超高速GaAs MESFET IC技術
パネルディスカッション

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