超微細加工入門

オーム社
古川静二郎　浅野種正　

• 価格: 2,970円（本体2,700円＋税）
• 発行年月: 1989年06月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784274032479

内容情報

[BOOKデータベースより]

本書は、今日のＩＣの基本技術となっている、この微細加工技術を原理から説き起こし、わかりやすく解説したものである。しかも、所々にＱ＆Ａをはさみ、その理解を助けるような工夫をこらしている。さらに、現在の技術だけではなく、将来実用になりそうな技術およびこの加工法が単にＩＣ製作にとどまるものではないことのイメージを与える説明を加えてある。

１章　固体デバイスと微細加工
２章　露光
３章　エッチング
４章　ドーピング
５章　膜の形成
６章　微細素子作製技術
７章　検査・評価技術およびクリーンルーム
８章　Ｓｉ微細加工技術の新しい応用