ＬＳＩプロセス工学 改訂２版

オーム社
右高正俊　鈴木道夫　

• 価格: 5,019円（本体4,563円＋税）
• 発行年月: 1988年12月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784274032233

内容情報

[BOOKデータベースより]

ＬＳＩプロセスに応用されている物理・化学現象と、実際の装置・設備の両面から詳しく解説し、急速な技術の進歩に即応できる多方面の知識が得られる内容となっています。日進月歩の技術革新に対応して全面改訂！

１章　概説
２章　ＬＳＩ、超ＬＳＩ基本プロセス概要
３章　ＬＳＩ基本回路構成
４章　ＬＳＩプロセスの基礎
５章　リソグラフィ技術と装置
６章　ＬＳＩプロセス装置
７章　ＬＳＩ、超ＬＳＩプロセス
８章　清浄化技術
９章　結言