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[BOOKデータベースより]
本書は「ＥＰＭＡとは何ぞや」をあらためて整理し、基本を理論と実際面から十分理解するとともに、精度良く利用するための詳細な現場的分析技術と、臨機応変な広い応用技術について書かれたものである。
装置と分析法の概要
電子とＸ線
装置各部の構造と役割
ＥＰＭＡの空間分解能
試料作成の基本
分析条件の設定
データの解析と解釈
表面観察（電子線像）の実際
定性分析の実際
線分析の実際
面分析（Ｘ線像）の実際
定量分析の実際
状態分析の実際
ＥＰＭＡのさまざまな付属機能および自動化
オペレータが行う装置の診断と調整