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異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用

ＭＥＭＳ，ＮＥＭＳ，センサ，ＣＭＯＳＬＳＩの融合
新材料・新素材シリーズ　

益一哉　年吉洋　町田克之　

シーエムシー出版 (Ｂ５)
【2012年11月発売】　 ISBNコード 9784781305868

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