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[BOOKデータベースより]
１ マイクロマシーニング
２ マイクロフィジックス
３ マイクロメカニカルセンサ
４ マイクロアクチュエータとマイクロメカニズム
５ マイクロメカトロニクス（「まめ」）システム
６ 応用
７ 将来動向と課題