機能性無機膜の製造と応用

新材料シリーズ　

シーエムシー出版
新無機膜研究会　上條榮治　

• 価格: 71,500円（本体65,000円＋税）
• 発行年月: 2006年06月
• 判型: Ｂ５
• ISBN: 9784882315698

内容情報

[BOOKデータベースより]

第１章　無機膜の製造プロセス（ＰＶＤ法；ＣＶＤ法　ほか）
第２章　無機膜の製造装置技術（最新のフィルムコンデンサー用巻取蒸着装置；反応性プラズマ蒸着装置　ほか）
第３章　無機膜の物性評価技術（薄膜の組成と構造；薄膜の密着力および内部応力　ほか）
第４章　無機膜の最新応用技術（工具・金型分野への応用；シリサイド系半導体薄膜の発光／受光デバイスへの応用　ほか）
第５章　最新のトピックス（熱線反射膜と製品；プラスチックフィルムのガスバリア膜　ほか）