図解入門よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 第２版

製造装置の全体を俯瞰する
Ｈｏｗーｎｕａｌ　ｖｉｓｕａｌ　ｇｕｉｄｅ　ｂｏｏｋ　

秀和システム
佐藤淳一　

• 価格: 2,200円（本体2,000円＋税）
• 発行年月: 2016年08月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784798047263

内容情報

[BOOKデータベースより]

製造装置の全体を俯瞰する。あなたの知らない日本の実力がわかる。世界に冠たる日本の半導体製造装置メーカー、その技術力の神髄が手に取るようにわかる！

半導体製造装置を取り巻く現状
半導体製造装置をファブから理解する
洗浄・乾燥装置
イオン注入装置
熱処理装置
リングラフィー装置
エッチング装置
成膜装置
平坦化（ＣＭＰ）装置
検査・測定・解析装置
後工程装置

[日販商品データベースより]

半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置まで、豊富なイラストで解説した入門書。初版をよりわかりやすくするとともに、半導体製造装置を取り巻く最近の動向などを追加した第２版。