- 絵とき「放電技術」基礎のきそ
-
- 価格
- 2,310円（本体2,100円＋税）
- 発行年月
- 2007年08月
- 判型
- Ａ５
- ISBN
- 9784526058653
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[BOOKデータベースより]
ナノサイズの素子を作るためのキーテクノロジーである放電プラズマ。その各装置と応用の両面での参考書。
第１章 放電・プラズマの概要（放電・プラズマとは；高度情報化社会を支える放電技術 ほか）
第２章 物質の構成要素と気体（物質の最小微粒子；電子の３つの顔 ほか）
第３章 放電プラズマの基礎（電子と分子の衝突；放電開始 ほか）
第４章 放電プラズマ直接応用（スパッタ薄膜；プラズマＣＶＤ ほか）
第５章 プラズマ・プロセス応用（垂直磁気記録；超ＬＳＩ ほか）