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- 半導体真空技術
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価格:2,750円(本体2,500円+税)
【2011年05月発売】
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【2011年05月発売】
[BOOKデータベースより]
1 基礎編(半導体製造装置と真空;真空の理論と計算;真空ポンプとその使い方;真空ゲージとその使い方;ガスシステム・真空部品とその使い方 ほか)
2 応用編(サーマル装置とプロセス;プラズマ装置とプロセス;PVD装置とプロセス;CVD装置とプロセス;エッチング装置とプロセス ほか)