内容情報
[BOOKデータベースより]
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薄膜特有の物性／プラズマ物理の基礎／応用事例、薄膜作成に欠かせない理論とノウスウを体系的に解説。
第１章 薄膜とは
第２章 薄膜作製技術の基礎
第３章 真空蒸着法
第４章 スパッタリング法
第５章 化学気相成長法
第６章 薄膜の評価技術
第７章 薄膜作製技術の応用
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