- アモルファス薄膜の評価
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- 価格
- 1,452円（本体1,320円＋税）
- 発行年月
- 1989年09月
- 判型
- Ｂ６
- ISBN
- 9784320085084
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[BOOKデータベースより]
アモルファス薄膜は金属、半導体、絶縁物、さらには高分子、有機物を問わず、あらゆるタイプの材料で多様な物理的、化学的性質を示し、種々の分野で、結晶性薄膜とは一味違った応用の可能性に富む。本書では主にアモルファスシリコン薄膜を対象として著者が体験した組成と化学結合状態の評価法、構造の評価法について実例を挙げながら入門的に述べている。
構造と化学結合状態
ラザフォード後方散乱法―組成の評価
水素の定量
スパッタで作成したａ‐Ｓｉ合金
スパッタによる微結晶シリコン膜の構造と物性